厚膜技术
厚膜技术:在绝缘基板通过丝网印刷及低温烧结工艺,制作导电、介电和电阻等功能性膜层,功能膜层较厚,厚度一般为大于10μm以上。
电子元件中用量大的厚膜电阻器就是厚膜技术生产的典型产品。
薄膜技术
薄膜技术起源于半导体集成化,主要采用蒸发溅射、蚀刻工艺在绝缘基板成膜,制作导电、介电和电阻等功能性膜层,功能膜层较薄,厚度一般为小于1μm,作为导带还可薄至10 nm。
采用薄膜工艺在玻璃或陶瓷基片上制作的电子元件称为薄膜元件,如薄膜电路、薄膜电阻、薄膜单层电容等等。
薄膜元件的特点为电阻、电容数值控制较准确,且数值范围宽,温度频率特性好,可以工作到毫米波段。并且集成度较高、尺寸较小。
薄膜技术具有很强的制造灵活性,很适合客户定制型产品制造或小批量多品种产品制造,且制造周期短。但是薄膜工艺所用设备比较昂贵、生产成本较高。
薄膜元件一般应用于:高频电子电路上如光通讯、微波通讯、无线通讯,或是对电子元件性能要求高稳定场合如传感、医疗及生物技术领域。
多层片式技术
0.1~5um。
多层片式元件结构:利用多层片式技术,使用不同的功能材料可制造各种各样的电子元件,如:多层片式陶瓷电容 MLCC,多层片式陶瓷电感器 MLCI,多层片式压敏电阻器 MLCV,还有贴片热敏电阻等……均是多层片式技术制造的。
多层片式技术的优势是设计简易、规范,易于大规模高自动化制造,可实现很低的生产成本。
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